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產品簡介
產品分類
L400系列超聲顯微鏡(SAT)是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測成像設備,主要利用高頻超聲波,對各類半導體器件、材料進行檢測,能夠檢測出樣品內部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷,并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中,不會對樣品造成損傷,不會影響樣品性能,可滿足陶瓷基板、IGBT、水冷散熱器、電池、半導體、電器焊接件、金剛石復合材料、碳纖維復合材料等產品質控需求。
一、機電特性
機電特性 | 規格型號 |
整機尺寸 | 1300mm*1300mm*1600mm(不包含三色燈,最終以設計為準) |
水槽尺寸 | 1150mm*820mm*220mm(以最終設計為準) |
有效掃描范圍 | 前后各450mm*450mm*100mm |
最大掃描速度 | (實際掃圖速度根據不同的分辨率,采集卡硬件配置來決定,如1m/s,0.2mm分辨率下) |
圖像推薦分辨率 | 0.5~4000um |
重復定位精度 | X、Y≤±0.005mm,Z≤±0.01mm |
上下水 | 水壓注水,水泵排水。 |
二、設備主要配置表
序號 | 名稱 | 規格 |
1 | 掃描系統 | X軸\Y軸:直線電機;Z軸(四通道):伺服電機驅動 |
2 | 水槽 | 1150mm×820mm×220mm |
3 | 超聲發射、接收器 | 品牌:JSR;型號:DPR500;帶寬500MHz |
4 | 高速數據采集卡 | 品牌:SHANHE;采樣頻率 :1GHz |
5 | 工控機 | I7處理器,32GB 內存,2TSSD硬盤,Windows 10-64 位操作系統,USB 及網絡接口。 |
6 | 顯示器 | 兩個27"液晶顯示器 |
7 | 檢測軟件 | 山河超聲無損檢測軟件V2.0 |
8 | 通訊協議 | SECS/GEM接口 |
三、軟件功能
軟件功能 | 功能描述 |
手動掃描 | 可以通過手動的方式生成C掃描圖像,反映被檢焊接結合面結合情況,并以釬著率、缺陷面積等數值的形式顯示檢測結果。釬著率計算默認正峰值計算。 |
探頭與C掃圖像對位 | 可通過點擊C掃圖的具體像素點將探頭移至與實際被檢工件相對應的位置。 |
手動分析 | 對生成的C掃圖片可以進行各種編輯,包括加框(確認有效分析區域),測距,修改閾值,圖片剪裁,針對弧面圖形進行弧面補償等。 |
多種掃描模式 | 主要掃描模式:A掃描模式、C掃描模式、快速掃描、自動掃描、區域掃描等多種掃描模式; (1) A掃描:對某一定點接收到的超聲信號,進行成像處理,橫坐標為時間,縱坐標為超聲信號,可以反映缺陷的位置、大小信息; (2) C掃描:對某一深度的截面進行掃描,是X-Y二維平面內移動并選取A掃描特定深度的點的信號成像,顯示的是水平截面的缺陷信息;; (3) 區域掃描:可自定義檢測區域,并對檢測區域進行掃描; (4) 批量掃描:對放置于水槽中的一種或多種工件進行自動檢測; (5)一次多層C掃描:≤50層 |
報告自動生成 | 掃描后自動生成掃描分析報告,報告中包含:最終掃描圖片、各種掃描參數設置等信息,可對檢測結果自動進行編輯并輸出報告文檔。 |
探頭管理 | 可對不同型號探頭進行更換或編輯。 |
一鍵自動校準 | 可自動對檢測設備坐標偏移及檢測系統能量變化,校準系統漂移,保證檢測結果的準確性和穩定性。 |
不銹鋼標準強度 | L400系列超聲顯微鏡自帶滿足GBT 11259-2015《超聲波檢測用鋼對比試塊的制作與校驗方法》的不銹鋼標準塊。認定該不銹鋼標準塊的超聲反射強度=100 STSS(“STainless Steel Standard"的縮寫),其他所有材料的檢測相對于STSS做換算。 |
缺陷檢測能力 | 焊接缺陷、粘接缺陷、封裝分層、粘片空洞等區域和良好區域。 可對缺陷尺寸和面積進行自動統計和計算。也可根據客戶的要求,提供有償定制開發服務。 |
聲速檢測 | 聲音在被測材質中的飛行速度。 |
四、檢測能力
測量能力 | 能力描述 |
標準塊測量誤差 | 測量機械加工的標準塊,在軟件進行強度校準的前提下,超聲檢測多次測量誤差在±1%。 |
缺陷識別能力 | 在測量系統厚度能力范圍內,被測材料聲速在標準材料聲速±5%以內的情況下,且超聲入射表面為平面的被測產品的水平方向的結合缺陷的識別能力0.07毫米(50MHz探頭)。 |
多層掃描方式 | 具備多層掃描功能,最多可同時掃描50層。 |
三觸發模式 | 可選擇設置三觸發模式,減少局部翹曲以及焊料層厚度變化導致的數據門偏離目標波形。 |
缺陷著色與統計功能 | 可根據缺陷波形特征(幅值、時間、相位),自由設置缺陷著色閾值對缺陷進行著色處理,根據著色效果,統計單一缺陷和整體缺陷的面積及占比。 |
黑斑著色與統計功能 | 可自由設置黑斑著色閾值對黑斑進行著色處理,根據著色效果,統計單一缺陷的數量、面積、面積占比和整體黑斑總面積以及總黑斑占比。 |
加框著色與統計功能 | 可根據需要,對特定區域進行加框缺陷著色和統計,可自定義加框的形狀、大小,滿足任意不規則區域的缺陷面積、占比、數量的計算統計與著色 |
圖像處理及優化 | 可通過算法處理,增強圖像對比度,提升圖像細節顯示效果,使圖像明暗區域差異更明顯。 |